Dépôt des couches minces - BICTEL/e ULg
Chapitre 2- THÉORIE DU PROCESSUS DE DÉCISION 57 .... 1- l'analyse
statistique ; 2- la simulation ; 3- la programmation linéaire ; 4- le ..... point sur le
sujet et de clarifier également chaque problème spécifique et ses
développements actuels. ...... Chaque modèle doit pouvoir accepter des données
numériques et toute ...
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Ab actu ad potentiam
Chapitre III.
Fabrication du système en couches minces :
Application aux détecteurs SPR
Table des matières
TOC \o "1-3" \h \z \u HYPERLINK \l "_Toc222725345" Introduction PAGEREF _Toc222725345 \h 154
HYPERLINK \l "_Toc222725346" Dépôt des couches minces PAGEREF _Toc222725346 \h 155
HYPERLINK \l "_Toc222725347" Propriétés des couches minces réelles PAGEREF _Toc222725347 \h 155
HYPERLINK \l "_Toc222725348" Contraintes internes et leur origine PAGEREF _Toc222725348 \h 157
HYPERLINK \l "_Toc222725349" Inter- diffusion et réactions chimiques PAGEREF _Toc222725349 \h 160
HYPERLINK \l "_Toc222725350" Rugosité des couches minces PAGEREF _Toc222725350 \h 161
HYPERLINK \l "_Toc222725351" Technique de dépôt de couches minces PAGEREF _Toc222725351 \h 162
HYPERLINK \l "_Toc222725352" Évaporation thermique PAGEREF _Toc222725352 \h 163
HYPERLINK \l "_Toc222725353" Pulvérisation ionique PAGEREF _Toc222725353 \h 166
HYPERLINK \l "_Toc222725354" Résumé sur les techniques du dépôt sous vide PAGEREF _Toc222725354 \h 169
HYPERLINK \l "_Toc222725355" Dépôt par déformation dune couche liquide PAGEREF _Toc222725355 \h 172
HYPERLINK \l "_Toc222725356" Technique du vide PAGEREF _Toc222725356 \h 173
HYPERLINK \l "_Toc222725357" Nettoyage et traitement du substrat PAGEREF _Toc222725357 \h 178
HYPERLINK \l "_Toc222725358" Gravure des couches minces PAGEREF _Toc222725358 \h 179
HYPERLINK \l "_Toc222725359" Gravure humide PAGEREF _Toc222725359 \h 183
HYPERLINK \l "_Toc222725360" Gravure humide dune couche sacrificielle PAGEREF _Toc222725360 \h 183
HYPERLINK \l "_Toc222725361" Séchage PAGEREF _Toc222725361 \h 185
HYPERLINK \l "_Toc222725362" Gravure sèche PAGEREF _Toc222725362 \h 187
HYPERLINK \l "_Toc222725363" Dispositif expérimental de gravure en plasma. PAGEREF _Toc222725363 \h 189
HYPERLINK \l "_Toc222725364" Fabrication dun détecteur micromécanique PAGEREF _Toc222725364 \h 190
HYPERLINK \l "_Toc222725365" Fabrication du gap par micro-usinage en surface PAGEREF _Toc222725365 \h 196
HYPERLINK \l "_Toc222725366" Gaufrette de départ PAGEREF _Toc222725366 \h 198
HYPERLINK \l "_Toc222725367" Aspects particuliers de fabrication PAGEREF _Toc222725367 \h 200
HYPERLINK \l "_Toc222725368" Description détaillée du procédé de micro-fabrication PAGEREF _Toc222725368 \h 213
HYPERLINK \l "_Toc222725369" Fabrication des réseaux de diffraction PAGEREF _Toc222725369 \h 219
HYPERLINK \l "_Toc222725370" Caractérisation des couches minces PAGEREF _Toc222725370 \h 221
HYPERLINK \l "_Toc222725371" Caractérisation durant le dépôt PAGEREF _Toc222725371 \h 221
HYPERLINK \l "_Toc222725372" Caractérisation après le dépôt PAGEREF _Toc222725372 \h 221
HYPERLINK \l "_Toc222725373" Dispositifs de caractérisation employés PAGEREF _Toc222725373 \h 223
HYPERLINK \l "_Toc222725374" Ellipsomètre spectroscopique. PAGEREF _Toc222725374 \h 224
HYPERLINK \l "_Toc222725375" Profilométrie interférométrique. PAGEREF _Toc222725375 \h 226
HYPERLINK \l "_Toc222725376" Conclusion PAGEREF _Toc222725376 \h 230
HYPERLINK \l "_Toc222725378" Abréviations, terminologie et notation PAGEREF _Toc222725378 \h 231
HYPERLINK \l "_Toc222725379" Table des illustrations PAGEREF _Toc222725379 \h 232
HYPERLINK \l "_Toc222725377" Bibliographie PAGEREF _Toc222725377 \h 234
Introduction
Ce chapitre est consacré à la mise au point des séquences technologiques de fabrication dun détecteur micromécanique à effet SPR. Son orientation est essentiellement qualitative, laspect quantitatif sera abordé dans les chapitres consacrés au travail expérimental.
Dans une première partie, on expose brièvement les différents dispositifs expérimentaux utilisés dans la fabrication des multicouches, en explicitant leurs intérêts et défauts. On décrit les conditions physiques, sous lesquelles les étapes essentielles de la fabrication doivent être réalisées. On discute, de plus, les principales difficultés quon pourrait rencontrer lors la fabrication dun détecteur à effet SPR.
Notons que lobjectif essentiel de cette étape de lélaboration du concept est de démontrer sa faisabilité. Alors, on na recherché que des solutions technologiques les plus faciles et les moins coûteuses. Par conséquent, il sagissait, tout dabord, dadapter à nos besoins les processus de routine de technologies de micro-usinage existantes et, surtout, étant disponibles au CSL, telles que lévaporation thermique, la pulvérisation ionique (angl., sputtering), la gravure (angl., etching) sèche/humide.
Ensuite, nous allons présenter les méthodes de caractérisation des couches mince. Cette étape est essentielle pour interpréter plus tard les résultats expérimentaux.
Dépôt des couches minces
Propriétés des couches minces réelles
Une couche dite mince est un objet dont lune des dimensions géométriques est très faible (de quelques dizaines nanomètres à quelques micromètres). Cela explique un rôle essentiel des interactions surfaciques dans létablissement des propriétés physiques de ces objets. Dailleurs, c'est la raison principale pour laquelle les propriétés physiques des couches minces diffèrent de manière significative de celles des corps massiques.
Laire totale de grains cristallins est supérieure à celle des deux faces dune couche mince. Par conséquent, généralement, leffet de frontières de grains cristallins sur les propriétés dune couche mince prévaut sur celui de ses faces. Ainsi, les propriétés physiques dune couche mince dépendent essentiellement de sa morphologie interne.
En général, les couches minces utilisées dans les applications optiques sont poly-cristallines ; leur état est métastable, hors de léquilibre et éloigné du minimum énergique. Dun point de vue microscopique, elles se composent des grains cristallins enrichis par des défauts, qui sont séparés par des zones enrichies par des impuretés (Fig.1). Les dimensions des grains cristallins sont du même ordre de grandeur que lépaisseur de la couche mince, [1]. II ressort de létude bibliographique que les couches minces présentent une micro structure en forme de colonnes de diamètres variant de 10 à 30 nm. Lorientation des grains cristallins varie en fonction de langle entre le plan du substrat et le flux de molécules lors du dépôt.
La microstructure des couches minces est extrêmement sensible aux propriétés chimiques et physiques de tout matériau mis en jeu lors de sa croissance, ainsi que des conditions physiques de dépôt à chaque étape dévolution de la couche mince (Tableau 1). En particulier, les propriétés dune couche mince sont très sensibles à la nature du substrat, sur lequel elle se situe. Cela explique, par exemple, pourquoi les couches dun même matériau et dune même épaisseur peuvent présenter des propriétés physiques essentiellement différentes sur les substrats de nature différente.
SHAPE \* MERGEFORMAT
Fig. SEQ Fig. \* ARABIC 1. Structure des couches minces : a) théorique ; b) réelle.
Tableau SEQ Tableau \* ARABIC 1. Évolution dune couche mince lors du dépôt
ÉtapeProcessusStructureÉpaisseurNucléationApparition sur la surface du substrat des petites îles dadatomes. EMBED PBrush 20 nm(Lépaisseur de percolation, au-delà de laquelle les îlots coalescent et la couche mince devient continue, varie suivant la nature du matériau, la vitesse du dépôt, la température du substrat, ladhérence de sa surface etc., [1, 7]. Typiquement, elle vaut de 10 nm à 20 nm.
Contraintes internes et leur origine
Comme on la noté précédemment, les molécules du réseau cristallin dune couche mince se trouvent écartées de l'état d'équilibre primitif. De ce fait, pratiquement toutes les couches minces présentent des contraintes mécaniques internes, qui tendent à faire revenir le réseau cristallin à l'état d'équilibre.
Dune manière générale, on peut identifier deux catégories de contraintes internes :
les contraintes extrinsèques apparues dues à la différence entre les coefficients de dilatation thermique des couches minces et du substrat (contraintes thermiques) ;
les contraintes intrinsèques spécifiques au matériau.
Les contraintes totales sont donc une superposition des contraintes extrinsèques avec celles intrinsèques.
Il faut noter que si lors du dépôt Ts/TF×Ƹ¦¸*jÊhn!hØ'ð0JUmHnHuhn!hØ'ðmHnHuhn!hØ'ð0JmHnHu/hn!hØ'ðCJOJQJaJmHnHsH tH uhRmHnHu)jMhn!hØ'ðUmHnHu#jhn!hØ'ðUmHnHuhn!hØ'ðmHnHu!hn!hØ'ð0J6]mHnHu$jhn!hØ'ð0JUmHnHu*jÐhn!hØ'ð0JUmHnHu{ | }
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