??????????
PAR-H?WM-H,????????12 bar(16 bar ???),??HO<-70°C,. O??<0.1 ppm?WM-H,???????????????,?????????,. ??????99.99999%? ???????Agilent Hydro ???????EPA TO-15 ??
GC/MS ?????????????????????????????????. ??????Agilent Hydro ??????100% ????(RH) ?????????. CM-A107S ????? - LCSC
?????????????????MEMS ???????????. ??????????????????????????????????. ?????????MEMS ? ... (12)??????
????TD????,?????TD?,???????TD??????,??TD. ?????????????????????????,????TD????????. ?,?? ... ???????? - ?????
??????22 ????????????????2014 ?????Mirai ?? ... td.gov.hk/filemanager/tc/content_4808/guide%20to%20 replacement%20of ... ??????????(CIMO) - ??????
6 _ ?????????????W V ????. ????& ?T ????????( ???. ?????( ????_ ???. ?????3 %????6 86 ???W V ??. ?? ... ???????????????? ??????????? - Agilent
td. N te sin max ?. ??. = ??= ?. (2). ?. ( )( ) n. R te. tP. ?. = 2 ... ????????????????????D ?????????. ?????? ... CNS ?-?1010234 - ????????
????????????????????????R-TA&TM ?????????????. ???????????????????????????????????? ... ????
O3 ?????. 42.14 mL/min. ?????. 383 Torr. ?????. 4.9 Torr. ???? ... TD ????????????????. ???????????5?6 ?7 ? ... ???????????????????????
?????????????/????????/?/???????/????????????(?????????)???/??/?????. ??????? ??????????
HGZ-300 ?????. GA-2009 ?????. GA-2009S ??????????. ????. ??????????????????????;. ???????????????? ... ?????????????????????1)
AEM????????????????????????AEM????????????????. ??OH-????OH-??AEM????????????????? ... TD-30 ?????????? - ??????
TD-30 ???????????????? ??. ??. ???. ??. ??(He). ?. ?. ????????? - ????
?????(TCD). 2?150???????. ?. 3????(????:0-2000ml/min,??. ??:0-0.4MPa,?????:<0. 003MPa). 4??????(????:99.999%,??. ?? ... ????????????????????????????? ...
??????????T.D. Williamson. ?????????????????????. ?????????????????????. ??????????????????? ... ????117 ?????????????/????
TD-2100. ???. ???. ???. ?. 8. ?????. ?. 2. 5000. 10000. ?. ?? ... 3.6 ??????????????????????????????????? ... ???????????????????????????????
??????????????????????? ?????????????????[10]?
